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MOS光刻去膠槽硫酸緩沖槽招標(biāo)公告

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2020-04-09

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項(xiàng)目名稱	MOS光刻去膠槽硫酸緩沖槽
公示時間	*** * : * : * 至 *** * : * : *
采購方	(略) 深 (略)
采購代理機(jī)構(gòu)
結(jié)算方式	直接結(jié)算
采購預(yù)算金額 (萬元)	* .4 萬元
采購方式	直接采購（單 * 來源采購）
采購內(nèi)容	3臺去膠清洗臺硫酸槽增加硫酸緩沖槽，每次的高溫濃酸直接排到緩沖槽，硫酸在緩沖槽冷卻之后再排放到 (略) 管道，這樣每天做片時間可以在現(xiàn)在的基礎(chǔ)上增加3-4小時，光刻去膠清洗做片量提升 * %左右。因此為提高M(jìn)OS光刻清洗去膠的做片通量，對3臺SPM去膠清洗臺增加3個硫酸槽。
采購清單
采購理由	* 年從 (略) 購買的 * 臺SPM的清洗臺，由于當(dāng)時資金緣故，硫酸的排液沒有安裝冷卻緩沖槽。該清洗臺使用的硫酸為 * ℃，不能直接排到 (略) 管道，必須冷卻到 * ℃以下才能排放，每次冷卻時將都在1個小時以上，每天換1次酸，加上中間需要排1-2次酸， * 天能做片的時間只有 * - * 個小時左右，時間浪費(fèi)比較多。因此需要增加緩沖槽提高設(shè)備使用效率。
潛在供應(yīng)商	中 (略) 第 (略)
特別事項(xiàng)說明	無
質(zhì)疑、投訴聯(lián)系方式	1、聯(lián)系人:王友旺 2、聯(lián)系電話: * 3、電子郵件:wangyw@ * 4、聯(lián)系地址: (略) 市 (略) 區(qū)寶龍工業(yè)區(qū)寶龍 * 路 * 號 (略) 深 (略) 5、郵編:

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